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平面闭环型扫描器

平面闭环型扫描器

最大扫描范围：20x20x5μm。

闭环分辨率约1.5nm，垂直谐振频率约40kHz。

用于配套中源仪器（ZungWin）的原子力显微镜产品。

采用高性能压电陶瓷，抗扭力设计 。

可选配：5x5x3μm。


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最大扫描范围：20x20x5μm。

闭环分辨率约1.5nm，垂直谐振频率约40kHz。

用于配套中源仪器（ZungWin）的原子力显微镜产品。

采用高性能压电陶瓷，抗扭力设计 。

可选配：5x5x3μm。


平面闭环型扫描器：

  • 最大扫描范围：20x20x5μm。

  • 闭环分辨率约1.5nm，垂直谐振频率约40kHz。

  • 用于配套中源仪器（ZungWin）的原子力显微镜产品。

  • 采用高性能压电陶瓷，抗扭力设计 。

  • 可选配：5x5x3μm。

闭环扫描器结构图



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