产品简介：

采用传统激光检测探针的原子力显微镜（AFM），经典传承、高端品质。集成了多模式和多功能的、国际高端和研究级的扫描探针显微镜产品。

仪器特点

• 采用激光探测探针，支持接触模式和轻敲模式的形貌成像。

• 具备力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等测量分析功能。

• 采用高精度嵌入式测控系统，主机隔音抗震设计，抗干扰能力强。

• 可扩展纳米加工、扫描隧道显微镜、静电力显微镜等扫描探针显微镜功能。

• 可选配不同扫描范围的管型扫描器，或平面闭环型扫描器。

• 可通过选配模块和扩展接口增强系统功能。

激光检测示意图

主要技术参数

• 一键式快速自动进样，行程23mm，最小步距50nm。

• 手动调节样品检测位置，最大调节范围±10.0mm。

• 样品尺寸的最大直径20mm，最大厚度20mm。

• 标配管型扫描器，最大扫描范围约为20μm×20μm×5μm。

• 样品逐行扫描成像，扫描成像速率0.1-30行/秒。

• 一次扫描多幅图像，图像分辨高达1024×1024物理象素。

• 内置数模混合结构的锁相放大器，数字化PID反馈控制的响应时间为10μs。

• 嵌入式测控系统采用主频为450MHz的双核处理器（ARM + DSP），与上位机连接采用以太网TCP/IP通讯协议。

标准配置：

• 主控制器

• 主机底座及隔音罩

• 主机探头及探针架（L型）

• 手动样品调节台（调节范围±10.0mm）

• 管型扫描器（最大扫描范围20μm）

• 计算机及专用测控软件

• 仪器附件

L型探针架（上：正面；下：背面）

选配模块：

• 纳米加工模块，包括：图形化纳米加工、机械刻蚀、矢量扫描等功能

• 扫描隧道显微镜（STM）模块，包括：扫描隧道显微镜的硬件与软件、STM探针架（WinSPM T-Probe）  

• 辅助观察光学显微镜系统：物镜倍数：0.7X～4.5X；总放大倍数：42-266X连续可调（14”有效显示面积）；工作距离：115mm 

• 管型扫描器模块：最大扫描范围有8μm、20/30μm和100μm共3种规格

• 平面闭环扫描器：最大扫描范围为30μm×30μm×9μm，闭环分辨率约1.5nm，垂直方向的谐振频率约为40kHz

• 导电原子力显微镜（C-AFM）

• 静电力显微镜（EFM）

• 磁力显微镜（MFM）

应用领域及实验

• 实验一：原子力显微镜的基本原理与应用，典型的应用领域为纳米研究、教学教育。

• 实验二：原子力显微镜形貌成像及分析，典型实验内容包括：软磁盘或光盘等常规样品形貌成像及分析、光栅样品的形貌成像及关键尺寸测量、纳米台阶的测量分析。

• 实验三：谱曲线测量与纳米力学实验，典型实验内容包括：力-距离曲线的测量分析、液体膜厚度的测量与分析。

• 实验四：扫描隧道显微镜（STM），包括形貌成像和隧道谱。（需增配STM模块）

• 实验五：纳米加工实验，如图形化纳米刻蚀实验。（需增配纳米加工模块） 

• 实验六：其它基于特殊针尖或实验方法的原子力显微镜的应用领域，包括：导电原子力显微镜（C-AFM）、静电力显微镜（EFM）、磁力显微镜（MFM）等。（需增配或定制相应的功能模块）。