产品简介：

可采用多种压电自感应探针的原子力显微镜（AFM），研究特质、性能卓越。实现形貌成像分析和谱曲线测量功能，测试环境免激光干扰，适合与光谱仪器联用。

仪器特点

• 标配支持多种压电自感应探针，包括Akiyama探针和WinSPM探针。

• 测量成像无需激光检测，可避免环境光线对样品及测量的影响。

• 内部空间足够安装高倍光学物镜，可实现与光谱仪器的共聚焦联用。

• 采用超高精度嵌入式测控系统，主机隔音抗震，测量成像更精准。

• 可选配平面闭环型扫描器、纳米加工模块和静电力显微镜等模块。

• 支持探针自制、功能定制和应用拓展。

主要技术参数

• 一键式快速自动进样，行程23mm，最小步距10nm。

• 手动样品调节二维台，最大调节范围±8.0mm。

• 样品尺寸的最大直径20mm，最大厚度20mm。

• 标配管型扫描器，最大扫描范围约为20μm×20μm×5μm。

• 可配平面闭环型扫描器，最大扫描范围约为30μm×30μm×9μm，闭环分辨率约1.5nm。

• 样品逐行扫描成像，扫描成像速率0.1-30行/秒。

• 一次扫描多幅图像，图像分辨高达2048×2048物理象素。

• 自感应探针采用频率调制方式，数字化PID反馈控制的响应时间为10μs。

• 嵌入式测控系统采用主频为450MHz的双核处理器（ARM + DSP），内置数模混合结构的锁相放大器，与上位机连接采用以太网TCP/IP通讯协议。

• 联用光学物镜的最短工作距离仅需9.5毫米，能够安装放大倍数为100X的光学物镜。

标准配置：

• 主控制器

• 主机底座及隔音罩

• 主机探头及探针架（A型和D型）

• 样品调节二维台（调节范围±8.0mm）

• 管型扫描器（最大扫描范围20μm）

• 专用计算机及测控软件

• 仪器附件

选配模块：

• 与光谱仪联用模块，包含：光学物镜及其位置调节平台（调节范围±5.5mm）、与光谱仪的光路适配、联用测控所需的硬件与软件

• 扫描隧道显微镜（STM）模块，包括：扫描隧道显微镜的硬件与软件、WinSPM T-Probe探针架

• 纳米加工模块，包括：图形化纳米加工、机械刻蚀、矢量扫描等功能

• 辅助观察光学显微镜系统：物镜倍数：0.7X～4.5X；总放大倍数：42-266X连续可调（14”有效显示面积）；工作距离：115mm

• 管型扫描器模块：最大扫描范围有8μm、20/30μm和100μm共3种规格

• 平面闭环扫描器：最大扫描范围为30μm×30μm×9μm，闭环分辨率约1.5nm，垂直方向的谐振频率约40kHz

应用领域及实验

• 实验一：在无环境光干扰的条件下研究材料表面的形貌等物性，典型的应用领域包括：纳米材料研究、光电/发光材料及器件、二维材料及器件、集成电路检测。

• 实验二：纳米微区的力学测量与分析，典型应用包括：力梯度-距离曲线、纳米力学实验研究、纳米台阶或液膜厚度的测量分析，纳米尺度粘弹物性的测量分析。

• 实验三：与光谱仪器的联用，如与拉曼光谱联用可原位测得纳米微区的拉曼光谱，或开展针尖增强拉曼光谱（TERS）实验研究。（需增配与光谱仪联用模块）

• 实验四：扫描隧道显微镜（STM）应用，包括形貌成像和隧道谱。（需增配STM模块）

• 实验五：纳米加工实验，如图形化纳米刻蚀实验研究。（需增配纳米加工模块） 

• 实验六：其它基于导电针尖的原子力显微镜应用领域及实验，包括：导电原子力显微镜（C-AFM）、静电力显微镜（EFM）、开尔文探针力显微镜（KPFM）等。（需增配或定制相应的功能模块）。