原子力显微镜（AFM）可以采用基于石英音叉的压电自感应探针，研制成大气环境的、自感应探针AFM。在探针调制方面，采用石英音叉压电自感应探针可采用频率调制的形貌成像方式；可实现AFM探针的频率调制、测量更准确，并可实现“非接触模式”和“轻敲模式”的AFM形貌成像的工作模式。【了解详情】

目前，大气环境原子力显微镜(Atomic Force Microscopy，AFM)通常使用基于激光位置检测的微悬臂探针，其检测装置较为精密、成本较高、操作复杂。与此相比，自感应型AFM探针则具有可以自激发和自检测的特点，因而结构简单、使用方便。目前研究应用较多的自感应AFM探针主要有基于压电效应原理和基于压阻效应原理等2种不同的类型。基于压电效应的自感应AFM探针最典型的代表是基于石英音叉的AFM探针。【了解详情】

原子力显微镜(Atomic Force Microscopy，AFM)是由IBM公司的Binnig与史丹佛大学的Quate于1985年所发明的，其目的是为了使非导体也可以采用扫描探针显微镜（SPM）进行观测。【了解详情】

扫描隧道显微镜（STM）的基本原理是利用量子理论中的隧道效应。将原子线度的极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离非常接近时（通常小于1nm），在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极。这种现象即是隧道效应。【了解详情】

1982年，国际商用机器公司（IBM）苏黎世实验室的宾尼（Binnig）和罗雷尔（Rohrer）及其同事们研制成功了世界上第一台新型的表面分析仪器——扫描隧道显微镜（Scanning  Tunning Microscope, STM），如图1.1所示。宾尼和罗雷尔因此而获得1986年的诺贝尔物理学奖。它的出现，使人类第一次能够实时的观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理、化学性质，被国际科技界公认为80年代十大科技成就之一。随后，STM仪器本身及其相关仪器获得了蓬勃发展，诞生了一系列在工作模式、组成模式及主要性能与STM相似的显微仪器，用来获取STM无法获取的各种信息。这些仪器目前统称为扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope, SPM）。这些仪器的共同特点是：采用尖锐的探针在样品表面扫描的方法来获取样品表面的一些性质。不同的扫描探针显微镜主要是针尖特性及相应针尖-样品相互作用的不同。这些仪器的发明，使人们跨入了原子和分子世界，成为人们认识微观世界的有力工具，在科技和工业方面已经、并且必将继续产生深刻的影响，在材料科学、微电子学、物理、化学、生物学等领域有着重大的意义和广阔的应用前景。【了解详情】