原子力显微镜（AFM）可以采用基于石英音叉的压电自感应探针，研制成大气环境的、自感应探针AFM。在探针调制方面，采用石英音叉压电自感应探针可采用频率调制的形貌成像方式；可实现AFM探针的频率调制、测量更准确，并可实现“非接触模式”和“轻敲模式”的AFM形貌成像的工作模式。

自感应探针原子力显微镜的突出优点及用途主要有以下3个方面：

第一，不需激光调节，仪器操作更简单。自感应探针原子力显微镜采用新型的自感应AFM探针替代传统的微悬臂AFM探针，不需要进行激光调节，具有操作简单、性价比高、原理清晰的突出优点，契合AFM实验教学的要求，特别适合用于教育教学。

第二，检测时无激光干扰。自感应探针原子力显微镜测量成像时不需要用激光来检测悬臂的形变，因此可以在无光的环境下实现AFM的测量成像，可为光电/发光材料及器件的测量成像提供没有光干扰的AFM检测环境。

第三，方便与光谱仪联用。自感应探针原子力显微镜不需要光路系统，自感应探针及测量头的机械结构更为简单，可提供更大的物理空间，容易实现与高倍光学物镜（工作距离较小）的共聚焦联用，如与拉曼光谱仪的联用。